5月16日，中国科学院宣布，上海微型系统和信息技术研究所的研究人员吴Zhenyu团队以及助理研究人员王·拉霍（Wang Lahao）开发了高性能10mm大型直径直径的压电（Micro-Electrome Memss（Micro-Electrome机械系统））。该产品可以实现更准确的闭环环环控制控制，满足激光局间链路的高精度要求，快速响应和稳定性，并为卫星通信终端提供微型和高性能解决方案。快速玻璃在梁方向上起着重要作用，捕获和监视卫星激光通信，并且有一系列极端性能指标，例如高方向精度，高工作带宽和高光学质量。据报道，根据先前的研究，研究小组开发了一个10毫米直径的压电驱动器MEMS快速玻璃。设计采用ED双层异源整合技术和粘结级晶圆级水平的过程，该设备具有高阶的超高角，对阶跃和高重复定位的快速响应。在结构设计方面，研究团队对机械结构进行了创新，以开发集中应力的区域，从而显着优化了光束控制的准确性。在绩效识别方面，研究团队首次表征了10毫米大玻璃直径的动态变形。准静态驱动器下面表面上的最大动态变形为2，只有Nomter，它符合长距离卫星激光通信对表面上玻璃类型的严格要求。研究小组说，与机械快速和现有商业玻璃的传统镜子相比，该设备具有巨大的好处，并且在Aero领域具有重要的应用前景空间。将来，它将继续优化玻璃尺寸研究，闭环控制和设备可靠性。它是在家中发现的，其相关研究于4月29日发表在“微系统和纳米工程”中。